ユースカジノ ライセンス化・ユースカジノ ライセンス投入削減｜ユースカジノ ライセンス

半導体の製造工程において、エッチングや洗浄の工程で大量のフッ素系の洗浄薬品が使用され、これらの製造工程からの排水は、凝集沈殿処理後に産業廃棄物（汚泥）として処分されます。クリタグループは、排水処理装置における薬注自動管理システム「S.sensing CS」による薬品注入量の最適化を提案・提供し、薬品由来の汚泥発生量（ユースカジノ ライセンス投入量）の削減に貢献しました。

排水処理においては、まず、凝集槽で排水中に無機凝集剤や高分子凝集剤などの薬品を注入して、排水中の懸濁物質を大きな塊（フロック）にします。その後、沈殿槽でフロックを沈降させて汚泥（スラッジ）として引き抜き、脱水して産業廃棄物として処分します。
半導体製造工程の排水のフッ素濃度は、製造ラインの稼働状況の変化に伴いフッ素系の洗浄薬品の使用量が増減するため、大きく変動します。そのため、安定した排水処理を行うには、フッ素濃度の最大値にあわせた無機凝集剤の注入が必要となります。しかし、フッ素濃度が低濃度の場合は過剰注入となるため、薬品由来の汚泥発生量が増加するとともに、汚泥を処分するコストと薬品コストの増加につながります。

クリタグループは、センシング技術を活用して薬品注入量を最適化する「S.Sensing CS」をお客様に提案しました。凝集槽に取り付けた凝集センサーによるフロック間濁度とフッ素濃度の連続測定結果を「S.Sensing CS」にリアルタイムにフィードバックし、無機凝集剤の注入量を最適化しました。
これにより、排水処理における無機凝集剤の使用量、薬品由来の汚泥発生量を約50%削減し、ユースカジノ ライセンス投入の削減に貢献しました。